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홈 제품 플라즈마 전원 제품 전력 공급 시스템

Power Delivery System

현장에서 입증된 Advanced Energy의 Precision Power™ 솔루션은 광범위한 플라즈마 전원 애플리케이션에서 동급 최고의 제어 및 안정성을 제공합니다. 당사의 포괄적인 전력 공급 기술은 40년 이상 공정 혁신을 실현해 왔으며 파트너와 함께 계속해서 한계를 뛰어넘고 있습니다.

Power Delivery System

eVoS LE Bias Solution

  • Ability to produce near mono-energetic ion energy distributions
  • Pulse capability with necessary input and output signals for synchronization
  • Integrated design and compact size eliminates need for matching network

eVoS ME Bias Solution

  • Customized ion energy distribution maximizes concentration to process-optimal levels.
  • Independently regulated voltage and current output enhances control of bias conditions.
  • Proprietary control system enables direct manipulation of wafer bias characteristics.
  • Fast, digitized metrology provides real-time output monitoring and control.

Paramount HFi RF Power Delivery System

  • High reliability and reproducibility
  • Reduced footprint
  • Fast tuning and direct power regulation

주요 제품

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Rapid, Accurate, and Reliable Digitally-Tuned Matching

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기술 문서

제목 유형
eVoS™ 非対称バイアス波形ジェネレータ (18 MB) 브로셔
eVoS™ Family Brochure (18 MB) 브로셔
eVoS™ Family Brochure (18 MB) 브로셔
RF Calibration Solutions (530 KB) 브로셔
eVos LE Data Sheet (3 MB) 데이터 시트
eVoS ME Data Sheet (233 KB) 데이터 시트
eVoS™ Datasheet (3 MB) 데이터 시트
Forward and Reflected Power: What Does It Mean? (576 KB) 백서

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